Vakuumanordnung und Dichtstruktur

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100a, 500a, 800b, 900) Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer (100); einen Vakuumbereich, welcher sich zumindest teilweise im Inneren der Vakuumkammer (100) erstreckt; zwei zueinander beweglich gelagerte Elemente (110a, 110b), zwischen...

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Hauptverfasser: Stude, Gerit, Arnold, Gerd, Siegert, Sebastian
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumanordnung (100a, 500a, 800b, 900) Folgendes aufweisen: eine Vakuumkammer (100); einen Vakuumbereich, welcher sich zumindest teilweise im Inneren der Vakuumkammer (100) erstreckt; zwei zueinander beweglich gelagerte Elemente (110a, 110b), zwischen denen ein Spalt gebildet ist, in welchen sich der Vakuumbereich zumindest teilweise hinein erstreckt; eine in oder an dem Spalt (110s) angeordnete Dichtstruktur (102) zum Abdichten des Spalts; wobei ein erster Abschnitt (102a) der Dichtstruktur (102) ortsfest relativ zu einem Element der zwei Elemente (110a, 110b) (auch als erstes Element bezeichnet) eingerichtet und aus einem elektrisch isolierenden ersten Material gebildet ist; und wobei ein zweiter Abschnitt (102b) der Dichtstruktur (102) in physischem Kontakt mit dem anderen Element der zwei Elemente (110a, 110b) (auch als zweites Element bezeichnet) ist und aus einem elektrisch isolierenden zweiten Material gebildet ist; und wobei eine Shore-Härte des ersten Materials kleiner ist als eine Shore-Härte des zweiten Materials.