Magnetronanordnung

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Magnetronanordnung (100) Folgendes aufweisen: eine erste Magnetronkathode (102a) mit einer ersten Magnetanordnung, welche einen ersten Plasmabereich (108a) unterhalb der ersten Magnetronkathode definiert; eine zweite Magnetronkathode (102b) mit einer z...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WICHTERY, MARIO, SANDER, THORSTEN, REHN, STANLEY, MOSSHAMMER, STEFFEN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Magnetronanordnung (100) Folgendes aufweisen: eine erste Magnetronkathode (102a) mit einer ersten Magnetanordnung, welche einen ersten Plasmabereich (108a) unterhalb der ersten Magnetronkathode definiert; eine zweite Magnetronkathode (102b) mit einer zweiten Magnetanordnung, welche einen zweiten Plasmabereich (108b) unterhalb der zweiten Magnetronkathode definiert; einen ersten Anodenträger (104a), welcher oberhalb der ersten Magnetronkathode angeordnet ist; einen zweiten Anodenträger (104b), welcher oberhalb der zweiten Magnetronkathode angeordnet ist; wobei die beiden Anodenträger (104a, 104b) jeweils an einer gemeinsamen Anoden-Grundplatte (104g) montiert sind; einen Gaskanal (106) mit mindestens einer Gasaustrittsöffnung zum Versorgen der beiden Magnetronkathoden (102a, 102b) mit einem Prozessgas, wobei der Gaskanal (106) unterhalb der gemeinsamen Anoden-Grundplatte (104g) montiert ist.