Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas, umfassend zwei gegenüberliegend angeordnete Hohlkathoden (11; 12), wobei die Hohlkathoden (11; 12) an einen Pulsgenerator (15) angeschlossen sind, der zwischen den beiden Hohlkathoden (11; 12) eine bipolar...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| Zusammenfassung: | Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Erzeugen eines Hohlkathodenbogenentladungsplasmas, umfassend zwei gegenüberliegend angeordnete Hohlkathoden (11; 12), wobei die Hohlkathoden (11; 12) an einen Pulsgenerator (15) angeschlossen sind, der zwischen den beiden Hohlkathoden (11; 12) eine bipolare, gepulste Spannung erzeugt. Dabei sind der Raum zwischen den beiden Hohlkathoden (11; 12) entlang der verlängerten Hohlkathodenachsen (13) und die beiden Hohlkathoden (11; 12) zumindest teilweise von einer Blende (14) umschlossen, wobei die Blendenfläche mindestens eine Öffnung (18) aufweist.
The invention relates to a device for producing a hollow cathode arc discharge plasma, comprising two hollow cathodes (11, 12) arranged opposite one another, the hollow cathodes (11, 12) being connected to a pulse generator (15) which generates a bipolar pulse voltage between the hollow cathodes (11, 12). In this case, the space between the two hollow cathodes (11, 12) is at least partially enclosed by an aperture (14) along the elongated hollow cathode axes (13) and the two hollow cathodes (11, 12), the aperture surface having at least one opening (18). |
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