Behälterschalteinrichtung und Verfahren zum Überwachen einer Fluidrate

Eine Behälterschalteinrichtung für ein Halbleitertestsystem wird bereitgestellt, wobei die Behälterschalteinrichtung einen Verteiler umfasst, der eine erste Zufuhrleitung, eine zweite Zufuhrleitung, eine Auslassleitung und einen Durchflusssensor umfasst, wobei jede der Zufuhrleitungen konfiguriert i...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Joo, Yeow Choon, Liang, Tan Jee
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CONTROLLING ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUIDLEVEL METERING BY VOLUME PHYSICS REGULATING SEMICONDUCTOR DEVICES SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES TESTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Eine Behälterschalteinrichtung für ein Halbleitertestsystem wird bereitgestellt, wobei die Behälterschalteinrichtung einen Verteiler umfasst, der eine erste Zufuhrleitung, eine zweite Zufuhrleitung, eine Auslassleitung und einen Durchflusssensor umfasst, wobei jede der Zufuhrleitungen konfiguriert ist, um an einen jeweiligen Fluidbehälter angeschlossen zu werden, und die Auslassleitung einen Auslassanschluss umfasst, welcher konfiguriert ist, um an einen Test-Handler angeschlossen zu werden, wobei jede der Zufuhrleitungen ein jeweiliges Steuerventil umfasst; wobei der Durchflusssensor vor dem Auslassanschluss in den Verteiler eingebaut ist und konfiguriert ist, ein die Durchflussrate eines Fluids durch einen Auslassanschluss anzeigendes Messsignal bereitzustellen und das Signal an eine Steuereinheit zu senden; und wobei jedes der Steuerventile konfiguriert ist, ein Steuersignal zu empfangen und durch das empfangene Steuersignal geöffnet oder geschlossen zu werden.