Bearbeitungsvorrichtung und Verfahren zum Überwachen eines mit einer Bearbeitungsvorrichtung ausgeführten Bearbeitungsprozesses

Bearbeitungsvorrichtung (12), die mit einer Vorrichtung (10) zum Überwachen eines mit einer Bearbeitungsvorrichtung (12) ausgeführten Bearbeitungsprozesses gekoppelt ist, wobei die Bearbeitungsvorrichtung (12) eine Bearbeitungsstrahlquelle und eine Bearbeitungsstrahloptik (13) aufweist, wobei die Be...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Lessmüller, Eckhard, Truckenbrodt, Christian
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING MACHINE TOOLS MEASURING MEASURING ANGLES MEASURING AREAS MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR PERFORMING OPERATIONS PHYSICS SOLDERING OR UNSOLDERING TESTING TRANSPORTING WELDING WORKING BY LASER BEAM
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Bearbeitungsvorrichtung (12), die mit einer Vorrichtung (10) zum Überwachen eines mit einer Bearbeitungsvorrichtung (12) ausgeführten Bearbeitungsprozesses gekoppelt ist, wobei die Bearbeitungsvorrichtung (12) eine Bearbeitungsstrahlquelle und eine Bearbeitungsstrahloptik (13) aufweist, wobei die Bearbeitungsstrahloptik (13) eine bewegbare erste Ablenkvorrichtung (26) umfasst, wobei der Bearbeitungsprozess entlang eines vorbestimmten Hauptbearbeitungspfades auf einem Werkstück (W) mittels eines von der Bearbeitungsstrahlquelle ausgesandten hochenergetischen Bearbeitungsstrahls (18) ausgeführt wird, der in einer Bearbeitungsrichtung (BR) relativ zu dem Werkstück (W) bewegbar ist, wobei die Vorrichtung (10) eine mit der Bearbeitungsvorrichtung (12) verbundene oder verbindbare Messvorrichtung (14) zum Durchführen von Positionsmessungen mittels eines OCT-Messstrahls (46) auf dem Werkstück (W) umfasst, die einen optischen Kohärenztomographen (34) mit einer Messstrahlquelle (44) aufweist; dadurch gekennzeichnet, dass die bewegbare erste Ablenkvorrichtung (26) dazu eingerichtet ist, beim Bearbeiten entlang des Hauptbearbeitungspfades den Bearbeitungsstrahl (18) in oszillierender Weise relativ zu dem Hauptbearbeitungspfad abzulenken, und dass die bewegbare erste Ablenkvorrichtung (26) ferner dazu eingerichtet ist, den OCT-Messstrahl (46) abzulenken, wobei die Messvorrichtung (14) die Positionsmessungen mittels des OCT-Messstrahls (46) unter Berücksichtigung der Ablenkbewegung des OCT-Messstrahls (46) durch die erste Ablenkvorrichtung (26) durchführt, wobei die Messvorrichtung (14) wenigstens eine bewegbare zweite Ablenkvorrichtung (62) umfasst, die dazu eingerichtet ist, den OCT-Messstrahl (46) abzulenken, und wobei die bewegbare zweite Ablenkvorrichtung (62) den OCT-Messstrahl (46) nach Maßgabe der Bearbeitungsrichtung (BR) des Bearbeitungsstrahls (18) und/oder nach Maßgabe von Bewegungsinformationen der bewegbaren ersten Ablenkvorrichtung (26) ablenkt.