Mikroelektronisches Modul zur Reinigung einer Oberfläche, Modularray und Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche

Mikroelektronisches-Modul (100) zur Reinigung einer Oberfläche, aufweisend:wenigstens einen Spannungswandler (101) zur Umwandlung einer bereitgestellten ersten Spannung (VI) in eine höhere, niedrigere oder identische zweite Spannung (V2);wenigstens einen Aktuator (102), aufweisend wenigstens einen G...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Ermann, Emanuel, Caspari, Ralf, Heller, Gerd, Weichwald, Robert
Format: Patent
Sprache:ger
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