Mikroelektronisches Modul zur Reinigung einer Oberfläche, Modularray und Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche
Mikroelektronisches-Modul (100) zur Reinigung einer Oberfläche, aufweisend:wenigstens einen Spannungswandler (101) zur Umwandlung einer bereitgestellten ersten Spannung (VI) in eine höhere, niedrigere oder identische zweite Spannung (V2);wenigstens einen Aktuator (102), aufweisend wenigstens einen G...
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Format: | Patent |
Sprache: | ger |
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