Mikroelektronisches Modul zur Reinigung einer Oberfläche, Modularray und Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche

Mikroelektronisches-Modul (100) zur Reinigung einer Oberfläche, aufweisend:wenigstens einen Spannungswandler (101) zur Umwandlung einer bereitgestellten ersten Spannung (VI) in eine höhere, niedrigere oder identische zweite Spannung (V2);wenigstens einen Aktuator (102), aufweisend wenigstens einen Generator (103) zur Erzeugung eines Ionenstroms, eines elektrischen Plasmas, von Oberflächenwellen und/ oder eines elektrostatischen Feldes aus der von dem Spannungswandler (101) bereitgestellten zweiten Spannung (V2);wobei wenigstens der Spannungswandler (101) und der Aktuator (102) auf einem dünnschichtigen flächigem Substrat (104) angeordnet sind; undwobei mittels des Aktuators (102) die wenigstens überwiegende Entfernung wenigstens eines an der Oberfläche haftenden Objekts erfolgt. A microelectronic module for cleaning a surface is described. The microelectronic module comprises at least one voltage converter for converting a provided first voltage into a higher, lower, or identical second voltage. The module also comprises at least one actuator. The actuator comprises at least one generator for generating an ionic current, an electrical plasma, harmonic components and/or an electrostatic field from the second voltage which is provided by the voltage converter. At least the voltage converter and the actuator are disposed on a thin-film, planar substrate. At least most of at least one object adhering to the surface is removed by the actuator.