Verfahren und Vorrichtung zur Prüfung eines korrekten Haftmittelauftrags

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (1) zum Prüfen des korrekten Haftmittelauftrags (4) umfassend eine Strahlungsquelle (20) zum Bestrahlen der Probe (3), auf der flächig der Haftmittelauftrags (4) aufgebracht ist, mit elektromagnetischer Strahlung im Infraroten Wellenlängenber...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: Hagen, Andre, Grieser, Ralf
Format: Patent
Sprache:ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung (1) zum Prüfen des korrekten Haftmittelauftrags (4) umfassend eine Strahlungsquelle (20) zum Bestrahlen der Probe (3), auf der flächig der Haftmittelauftrags (4) aufgebracht ist, mit elektromagnetischer Strahlung im Infraroten Wellenlängenbereich und eine Abbildungserfassungseinrichtung (30) zum Erfassen mindestens einer Abbildung (35) der Probe in dem Infraroten Wellenlängenbereich und eine Auswerteeinrichtung (12), welche die mindestens eine Abbildung (35) auf Inhomogenitäten untersucht um hierdurch Fehlstellen im Haftmittelauftrag des Probe zu erfassen. Es ist vorgesehen, dass die Strahlungsquelle (20) und Abbildungserfassungseinrichtung (30) so zueinander und relativ zu der Probe (3) mit dem Haftmittelauftrag (4) angeordnet sind, dass die Abbildungserfassungseinrichtung (30) von der Probe (3) oder dem darauf aufgebrachten Haftmittelauftrag (4) reflektierte Strahlung der Strahlungsquelle (20) erfasst.