Verfahren und Vorrichtung zur Zugbildung von Substraten in Beschichtungsanlagen

Die vorliegende Erfindung stellt ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Zugbildung in Transportanlagen, vorzugsweise in Beschichtungsanlagen, bereit, um den Abstand zwischen zwei hintereinander befindlichen Gegenständen, vorzugsweise Substrate oder Substrathalter, einzustellen, wobei sich der vordere Gegenstand mit einer Prozessgeschwindigkeit vp in der Transportanlage bewegt und sich der hintere Gegenstand in einem undefinierten Abstand zum vorderen Gegenstand befindet. Das Verfahren umfasst dabei die folgenden Schritte: (a) Beschleunigen des hinteren Substrates auf eine Anfangsgeschwindigkeit vx > vp; (b) Detektieren eines Antriebsmomentanstiegs, beim Auffahren des hinteren auf das vordere Substrat; (c) Verzögerung des hinteren Substrates um einen vorgegebenen Wert, um einen vorgegebenen Abstand ap zum vorderen Substrat herzustellen; und (d) Anpassen der Geschwindigkeit des hinteren Substrates auf die Prozessgeschwindigkeit vp. A method and a device for stringing together objects in transport systems, preferably in coating systems, for adjusting the distance between two objects, preferably substrates or substrate holders, being arranged one behind the other, wherein the front object moves at a process speed vp in the transport system and the rear object is at an undefined distance from the front object. The method comprises the following steps: (a) accelerating the rear substrate to an initial speed vx>vp; (b) detecting an increase in the driving torque when the rear substrate moves against the front substrate; (c) delaying the rear substrate by a predetermined value in order to establish a predetermined distance ap from the front substrate; and (d) adjusting the speed of the rear substrate to the process speed vp.