Verfahren zur Fehlerkorrektur in Positionsmesseinrichtungen

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Fehlerkorrektur in Positionsmesseinrichtungen mit Maßverkörperungen, die von mindestens einer Abtasteinheit abgetastet werden, wobei für eine definierte Anzahl von Korrekturpunkten auf der Maßverkörperung jeweils Korrekturwerte bereitgehalten werden, die aus einer vor dem Messbetrieb erfolgenden Kalibrierung gewonnen und im Messbetrieb zur Korrektur der ermittelten Positionswerte verwendet werden. Die bei der Kalibrierung gewonnenen Korrekturwerte werden für den Messbetrieb komprimiert. A method corrects errors in position-measuring devices having material measures which are scanned by at least one scanning unit. Correction values are obtained in a calibration performed prior to a measurement operation. The correction values from the calibration are compressed for the measurement operation. The correction values are kept available for a defined number of correction points on the material measure and used during the measurement operation to correct acquired position values.