Bestimmung des Kohlenstoffgehalts in einem Halbleitermaterial

Ein Verfahren zur Bestimmung des Kohlenstoffgehalts einer Messprobe (1), die ein hochreines Halbleitermaterial, insbesondere mono- oder polykristallines Silizium, und 1015 bis 1017 Kohlenstoffatome pro Kubikzentimeter enthält, wird vorgeschlagen. Die Messprobe (1) wird in eine Messkammer (2) einer M...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	RATHMANN, DIETER, KÖSTER, LUDWIG
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES MEASURING PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES TESTING
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