Chipbond-Design für einen Sensor für mittleren Druck

Ein aus einem Siliziumchip gebildeter mikro-elektromechanischer Drucktransducer zentriert sich selber auf einem Sockel, welcher entweder aus einem Metall oder einem dielektrischen Material gebildet ist, und zwar durch Auftragen einer vorbestimmten Menge eines Flüssig-Epoxidharzklebemittels auf der q...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	WANG, JOE PIN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MEASURING MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TESTING TRANSPORTING
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