Mikromechanische Komponente und Verfahren zu ihrer Herstellung

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung mikromechanischer Komponenten (1), bei welchem ein flüssiges Ausgangsmaterial (2) auf ein Substrat aufgebracht wird, wobei das Ausgangsmaterial (2) durch Bestrahlung aushärtbar ist, das Ausgangsmaterial durch lokale Bestrahlung mit einer ersten Strahlungsquelle in einem Teilvolumen (21) ausgehärtet wird, um zumindest eine dreidimensionale Struktur zu erzeugen, und das flüssige Ausgangsmaterial (2) zumindest teilweise entfernt wird, wobei die dreidimensionale Struktur zumindest eine Kavität (10) begrenzt, in welcher das flüssige Ausgangsmaterial (2) eingeschlossen ist. Weiterhin betrifft die Erfindung eine mikromechanische Komponente, welche ein flüssiges Ausgangsmaterial (2) enthält, welches teilweise durch Bestrahlung ausgehärtet ist, und welche zumindest eine Kavität (10) enthält, in welcher zumindest zeitweise das flüssige Ausgangsmaterial (2) eingeschlossen ist. A method for producing micromechanical components is provided. A liquid starting material which can be cured by means of irradiation is applied onto a substrate. A partial volume of the starting material is cured by means of a local irradiation process using a first radiation source in order to produce at least one three-dimensional structure. The three-dimensional structure delimits at least one closed cavity in which at least one part of the liquid starting material is enclosed. Alternatively or in addition, a micromechanical component is provided that contains a liquid starting material, which is partly cured by means of irradiation, and at least one cavity in which the liquid starting material is enclosed.