Laserbearbeitungsvorrichtung und Laserbearbeitungsverfahren

Eine Laserbearbeitungsvorrichtung enthält eine Laserstrahlerzeugungseinrichtung (101), die einen ersten gepulsten Laserstrahl zum temporären Erhöhen einer Lichtabsorption in einem vorbestimmten Bereich eines Bearbeitungsobjekts (112) und einen zweiten gepulsten Laserstrahl erzeugt, der in dem vorbestimmten Bereich zu absorbieren ist, in dem die Lichtabsorption temporär erhöht wurde, und einen Stützabschnitt (111), der in Strahlrichtung des ersten gepulsten Laserstrahls und des zweiten gepulsten Laserstrahls, die durch die Laserstrahlerzeugungseinrichtung (101) erzeugt wurden, bereitgestellt ist, und eine Platzierungsfläche zum Platzieren des Bearbeitungsobjekts (112) hat. Die Laserstrahlerzeugungseinrichtung (101) emittiert den zweiten gepulsten Laserstrahl mit einer Verzögerung in Bezug auf den ersten gepulsten Laserstrahl um eine Verzögerungszeit innerhalb einer vorbestimmten Zeitperiode bevor die Lichtabsorption, die temporär in dem vorbestimmten Bereich erhöht wurde, zu einem ursprünglichen Wert zurückkehrt. A laser processing apparatus includes a laser beam generating device that generates a first pulse laser beam for temporarily increasing a light absorptance in a predetermined region of a processing object, and a second pulse laser beam to be absorbed in the predetermined region in which the light absorptance has temporarily increased, and a support portion that is provided on a downstream of the first pulse laser beam and the second laser beam generated by the laser beam generating device and has a placement surface for placing the processing object. The laser beam generating device emits the second pulse laser beam with a delay with respect to the first pulse laser beam by a delay time within a predetermined period of time before the light absorptance that has temporarily increased in the predetermined region returns to an original value.