Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung einer Oberflächengüte

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Bestimmung einer Oberflächengüte eines Substrats, sowie eine entsprechende Verwendung und ein entsprechendes Computerprogrammprodukt. Um ein solches Verfahren bereitzustellen, bei dem die Begrenzungen des Standes der Technik hinsichtlich Geschwindigkeit und Stör- bzw. Fehlerempfindlichkeit verringert sind, werden die Schritte vorgeschlagen: Aufbringen eines Mediums auf eine Oberfläche des Substrats, so dass der jeweilige Bereich teilweise bedeckt wird und durch das Medium eine Emission eines von einer lokalen Charakteristik eines jeweiligen Bereichs der Oberfläche des Substrats abhängigen Signals von der Oberfläche oder ein von der lokalen Charakteristik des jeweiligen Bereichs der Oberfläche des Substrats abhängiges Zurückwerfen eines Signals an der Oberfläche verhindert oder in vorbestimmter Weise reduziert wird oder das von der Oberfläche emittierte oder zurückgeworfene Signal durch das Medium blockiert oder in vorbestimmter Weise abgeschwächt wird, Messen des von der lokalen Charakteristik des jeweiligen Bereichs der Oberfläche des Substrats abhängigen Signals, wobei das Signal von der Oberfläche emittiert oder zurückgeworfen wird, und Vergleichen des für den jeweiligen Bereich nach einem Aufbringen von Medium durch die Aufbringeinheit gemessenen Signals mit einer Referenz zur Bestimmung der Oberflächengüte.