Optisches Modul zum Neigen eines Laserstrahls

Eine Vorrichtung zum Vergleichmäßigen der Verteilung einer Lichtmenge durch Neigen von Linienstrahlen (LB) entlang einer Längsachsenrichtung wird bereitgestellt. Die Vorrichtung weist eine Spiegelhalterung (16), einen Spiegel (10), einen Aktor (20), und ein Verformungsglied (30) auf. Der Spiegel (10) ist an der Spiegelhalterung (16) befestigt und weist eine Reflexionsfläche (11) auf. Der Aktor (20) ist in einem Abstand von der Spiegelhalterung (16) angeordnet und konfiguriert, um wiederholt ein Ausdehnen und Zusammenziehen entlang einer ersten Richtung auszuführen. Das Verformungsglied (30) weist eine Vielzahl von Blöcken auf, die durch flexible Gelenke miteinander verbunden sind, und ist mit dem Aktor (20) und der Spiegelhalterung (16) gekoppelt. Das Verformungsglied (30) ist konfiguriert, um eine Verschiebung in die erste Richtung aufgrund der Arbeit des Aktors (20) in eine Verschiebung in eine zweite Richtung, die die erste Richtung kreuzt, zu ändern, um die geänderte Verschiebung zu vergrößern und um die vergrößerte Verschiebung zur Spiegelhalterung (16) zu übertragen. Apparatus for uniformizing light amount distribution by shaking line beams along a longitudinal axis direction is provided. The apparatus includes a mirror mount, a mirror, an actuator, and a deformation member. The mirror fixed to the mirror mount and includes a reflective surface. The actuator is disposed at a distance from the mirror mount and configured to repeat expansion and contraction along a first direction. The deformation member includes a plurality of blocks connected to each other by flexible joints and is coupled to the actuator and the mirror mount. The deformation member is configured to change a displacement in the first direction due to operation of the actuator to a displacement in a second direction that crosses the first direction, amplify the changed displacement, and transmit the amplified displacement to the mirror mount.