Inertialsensor und Herstellungsverfahren zum Herstellen eines Inertialsensors
Inertialsensor (100) mit folgenden Merkmalen:einer eine Elektrode (108) aufweisenden Elektrodenschicht (102);einer eine erste Gegenelektrode (110) und eine zweite Gegenelektrode (112) aufweisenden Gegenelektrodenschicht (106); undeiner einen ersten beweglich gelagerten Sensorkern (114) und einen zwe...
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| creator | Schmidt, Benjamin Schelling, Christoph Hoeppner, Christian Rohlfing, Franziska Heuck, Friedjof |
| description | Inertialsensor (100) mit folgenden Merkmalen:einer eine Elektrode (108) aufweisenden Elektrodenschicht (102);einer eine erste Gegenelektrode (110) und eine zweite Gegenelektrode (112) aufweisenden Gegenelektrodenschicht (106); undeiner einen ersten beweglich gelagerten Sensorkern (114) und einen zweiten beweglich gelagerten Sensorkern (116) aufweisenden Sensorkernschicht (104) aus einem monokristallinen Material, wobei die Sensorkernschicht (104) zwischen der Elektrodenschicht (102) und der Gegenelektrodenschicht (106) angeordnet ist, gekennzeichnet durch einen Isolationsgraben (214), der sich zum elektrischen Isolieren der ersten Gegenelektrode (110) von der zweiten Gegenelektrode (112) von der von der Sensorkernschicht (104) abgewandten Hauptseite (218) der Gegenelektrodenschicht (106) durch die Gegenelektrodenschicht (106) zu der Sensorkernschicht (104) erstreckt, wobei der Isolationsgraben (214) zumindest teilweise mit einem Isolationsmaterial (224) verfüllt ist. |
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undeiner einen ersten beweglich gelagerten Sensorkern (114) und einen zweiten beweglich gelagerten Sensorkern (116) aufweisenden Sensorkernschicht (104) aus einem monokristallinen Material, wobei die Sensorkernschicht (104) zwischen der Elektrodenschicht (102) und der Gegenelektrodenschicht (106) angeordnet ist, gekennzeichnet durch einen Isolationsgraben (214), der sich zum elektrischen Isolieren der ersten Gegenelektrode (110) von der zweiten Gegenelektrode (112) von der von der Sensorkernschicht (104) abgewandten Hauptseite (218) der Gegenelektrodenschicht (106) durch die Gegenelektrodenschicht (106) zu der Sensorkernschicht (104) erstreckt, wobei der Isolationsgraben (214) zumindest teilweise mit einem Isolationsmaterial (224) verfüllt ist.</description><language>ger</language><subject>GYROSCOPIC INSTRUMENTS ; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT ; MEASURING ; MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS ; MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK ; 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