Inertialsensor und Herstellungsverfahren zum Herstellen eines Inertialsensors

Inertialsensor (100) mit folgenden Merkmalen:einer eine Elektrode (108) aufweisenden Elektrodenschicht (102);einer eine erste Gegenelektrode (110) und eine zweite Gegenelektrode (112) aufweisenden Gegenelektrodenschicht (106); undeiner einen ersten beweglich gelagerten Sensorkern (114) und einen zwe...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Schmidt, Benjamin, Schelling, Christoph, Hoeppner, Christian, Rohlfing, Franziska, Heuck, Friedjof
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	GYROSCOPIC INSTRUMENTS INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY NAVIGATION PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY PHYSICS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS SURVEYING TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Inertialsensor (100) mit folgenden Merkmalen:einer eine Elektrode (108) aufweisenden Elektrodenschicht (102);einer eine erste Gegenelektrode (110) und eine zweite Gegenelektrode (112) aufweisenden Gegenelektrodenschicht (106); undeiner einen ersten beweglich gelagerten Sensorkern (114) und einen zweiten beweglich gelagerten Sensorkern (116) aufweisenden Sensorkernschicht (104) aus einem monokristallinen Material, wobei die Sensorkernschicht (104) zwischen der Elektrodenschicht (102) und der Gegenelektrodenschicht (106) angeordnet ist, gekennzeichnet durch einen Isolationsgraben (214), der sich zum elektrischen Isolieren der ersten Gegenelektrode (110) von der zweiten Gegenelektrode (112) von der von der Sensorkernschicht (104) abgewandten Hauptseite (218) der Gegenelektrodenschicht (106) durch die Gegenelektrodenschicht (106) zu der Sensorkernschicht (104) erstreckt, wobei der Isolationsgraben (214) zumindest teilweise mit einem Isolationsmaterial (224) verfüllt ist.