Vakuumpumpenanordnung und Vakuumkammeranordnung

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumpumpenanordnung bereitgestellt, welche eine Turbomolekularpumpe (102) mit einem drehbar gelagerten Rotor; und ein Abdeckelement (104) aufweisen kann, welches in einem Abstand (105) zu dem Rotor derart eingerichtet und angeordnet ist, dass zwische...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Häusler, Christoph, Zahn, Richard, von der Waydbrink, Hubertus
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BLASTING HEATING LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING NON-POSITIVE DISPLACEMENT PUMPS POSITIVE DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumpumpenanordnung bereitgestellt, welche eine Turbomolekularpumpe (102) mit einem drehbar gelagerten Rotor; und ein Abdeckelement (104) aufweisen kann, welches in einem Abstand (105) zu dem Rotor derart eingerichtet und angeordnet ist, dass zwischen dem Rotor und dem Abdeckelement (104) ein Gasseparationsspalt (106) gebildet ist.