Anordnung und Verfahren zur Vermessung einer elektronischen Struktur

Der Erfindung, welche eine Anordnung und Verfahren zur Vermessung einer elektronischen Struktur betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung und ein Verfahren anzugeben, mit welchen eine Vereinfachung bei einer Messdurchführung erreicht und die Genauigkeit der Messung verbessert wird. Diese...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Klein, Bernhard, Laabs, Martin, Plettemeier, Dirk, Seiler, Patrick Sascha
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRICITY MEASURING MEASURING ELECTRIC VARIABLES MEASURING MAGNETIC VARIABLES PHYSICS RESONATORS, LINES, OR OTHER DEVICES OF THE WAVEGUIDE TYPE TESTING WAVEGUIDES
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