Anordnung und Verfahren zur Vermessung einer elektronischen Struktur

Der Erfindung, welche eine Anordnung und Verfahren zur Vermessung einer elektronischen Struktur betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, eine Anordnung und ein Verfahren anzugeben, mit welchen eine Vereinfachung bei einer Messdurchführung erreicht und die Genauigkeit der Messung verbessert wird. Diese Aufgabe wird anordnungsseitig dadurch gelöst, dass ein Tastkopf angeordnet ist, welcher zwei mit dem Tastkopf verbundene Messspitzen aufweist, wobei jede Messspitze je eine planare Leitung sowie einen Kontakt aufweist, dass der Kontakt mit einem ersten Ende der planaren Leitung verbunden ist und dass ein Hohlleiterübergang mit einem Hohlleiter mit einem zweiten Ende der planaren Leitung verbunden ist. Die Aufgabe wird verfahrensseitig dadurch gelöst, dass das Mittel zur Kontaktierung mit ausgewählten Bereichen mit zwei zueinander beabstandeten Messspitzen in einem Tastkopf bereitgestellt wird, welcher zur Herstellung einer elektrischen Verbindung mit einer ausgewählten Struktur derart bewegbar ist, dass der Abstand der Messspitzen zueinander während der Bewegung und während einer Messung konstant bleibt.