BAW-Resonator mit verringerter Eigenerwärmung, HF-Filter mit BAW-Resonator, Duplexer mit HF-Filter und Verfahren zur Herstellung

Es wird ein BAW-Resonator mit verringerter Eigenerwärmung angegeben. Die Eigenerwärmung wird durch eine Wärmebrücke reduziert, die Wärme aus dem elektroakustisch aktiven Bereich an ein Trägersubstrat abführt, ohne die Akustik des Resonators zu verschlechtern. The invention relates to a BAW resonator with reduced heat build-up. The heat build-up is reduced by a thermal bridge, which dissipates heat from the electro-acoustically active region to a support substrate, without impairing the acoustics of the resonator.