Sockelanordnung

Sockelanordnung (102, 152, 202, 302, 402, 452, 502, 602, 702) zum Halten (Befestigen) eines Endblocks (104) an einer Prozesskammer, aufweisend: ein erstes Sockelelement (312)* mit einer ersten Befestigungsanordnung (110) zum Befestigen des ersten Sockelelements (312) an einer Prozessseite einer Prozesskammerwand und* mit einer zweiten Befestigungsanordnung (102a); und ein zweites Sockelelement (322)* mit einer dritten Befestigungsanordnung (102b) zum Befestigen des zweiten Sockelelements (322) an dem ersten Sockelelement (322) und* mit einer vierten Befestigungsanordnung (120) zum Befestigen eines Endblocks (104) an dem zweiten Sockelelement (322) auf der Prozessseite; wobei die zweite Befestigungsanordnung (102a) des ersten Sockelelements (312) und die dritte Befestigungsanordnung (102b) des zweiten Sockelelements (322) für ein Ineinandergreifen mit Spiel derart ausgebildet sind, dass das zweite Sockelelement (322) relativ zu dem ersten Sockelelement (312) auslenkbar ist. According to various embodiments, a socket arrangement for holding an end block on a process chamber may include the following: a first socket element with a first fastening arrangement for fastening the first socket element on a process chamber wall and with a second fastening arrangement; and a second socket element with a third fastening arrangement, for fastening the second socket element on the first socket element and with a fourth fastening arrangement for fastening an end block on the second socket element; wherein the second fastening arrangement of the first socket element and the third fastening arrangement of the second socket element may be formed for engaging in one another with play in such a way that the second socket element may be deflectable in relation to the first socket element.