Keramischer Drucksensor und Verfahren zu dessen Herstellung
Drucksensor, mit- einem keramischen Grundkörper (1a, 1b, 1c),- einer auf dem Grundkörper (1a, 1b, 1c) angeordneten mit einem zu messenden Druck (p) beaufschlagbaren keramischen Messmembran (5a, 5b), und- einer im Grundkörper (1a, 1b, 1c) unter der Messmembran (5a, 5b) eingeschlossenen Druckmesskamme...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| Zusammenfassung: | Drucksensor, mit- einem keramischen Grundkörper (1a, 1b, 1c),- einer auf dem Grundkörper (1a, 1b, 1c) angeordneten mit einem zu messenden Druck (p) beaufschlagbaren keramischen Messmembran (5a, 5b), und- einer im Grundkörper (1a, 1b, 1c) unter der Messmembran (5a, 5b) eingeschlossenen Druckmesskammer (3), dadurch gekennzeichnet, dass- der Grundkörper (1a, 1b, 1c) und/oder die Messmembran (5a, 5b) in einem 3D-Druckverfahren aufeinander aufgebrachte durch selektives Laserschmelzen von Nanopulver-Lagen hergestellte Schichten aufweist, wobei der Grundkörper (1a) und/oder die Messmembran (5b) mindestens eine aus den aufeinander aufgebrachten Schichten entsprechender Grundflächen aufgebaute Strukturierung aufweist, wobei- ein äußerer Rand der Messmembran (5a) über eine Fügung (7) mit einem äußeren Rand einer der Messmembran (5a) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (1c) verbunden ist, wobei- der Grundkörper (1c) in einem unmittelbar an eine Innenseite der Fügung (7) angrenzenden Bereich der der Messmembran (5a) zugewandten Stirnseite des Grundkörpers (1c) eine zu einem Ring geschlossene Nut (21) aufweist, und- die Nut (21) eine aus zu einem Ring geschlossenen übereinander angeordneten Ausnehmungen in der Messmembran (5a) zugewandten Schichten des Grundköpers (1c) bestehende Strukturierung ist.
A ceramic pressure sensor is described which is produced using an alternative production method and has a ceramic base body, a ceramic measuring membrane which is disposed on the base body and is to be charged with a pressure to be measured, and a pressure measuring chamber enclosed in the base body below the measuring membrane. A method to produce the pressure sensor by means of which, in particular, more complex shapes of the measuring membrane and/or the base body are producible with minimal pores wherein the base body and/or the measuring membrane have layers applied on each other in a 3-D printing method and produced by the selective laser melting of nanopowder layers. |
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