Elektronisches Bauelement

Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement mit einer Schichtstruktur mit wenigstens einer Schicht aus einem halbleitenden Material und mit einer kompressiv verspannten Funktionsschicht, wobei in einem vorgegebenen Abstand zur Funktionsschicht eine Getterschicht in der Schichtstruktur vorge...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	GRÖNNINGER, GÜNTHER, KREUTER, PHILIPP, MÜLLER, MARTIN, BEHRENS, ALEXANDER
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY SEMICONDUCTOR DEVICES
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein elektronisches Bauelement mit einer Schichtstruktur mit wenigstens einer Schicht aus einem halbleitenden Material und mit einer kompressiv verspannten Funktionsschicht, wobei in einem vorgegebenen Abstand zur Funktionsschicht eine Getterschicht in der Schichtstruktur vorgesehen ist, wobei die Getterschicht als weitere kompressiv verspannte Schicht ausgebildet ist, um wandernde Leerstellen der Schichtstruktur zu binden.