VERFAHREN ZUM ÄTZEN EINES WERKSTÜCKS, ZUM ÄTZEN EINES WERKSTÜCKS AUSGELEGTE VORRICHTUNG UND NICHT-TRANSITORISCHES COMPUTERLESBARES MEDIUM

Verfahren (300) zum Ätzen eines Werkstücks (102), welches Verfahren aufweist:Ermitteln (302) einer Vielzahl von Referenzätzprofilen (REP1, REP2, REP3) für eine Vielzahl von Positionen (P1, P2, P3) eines Ätzmittelspenders (114), wobei jedes Referenzätzprofil einer jeweiligen Position der Vielzahl von...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Muringer, Sonja, Pilch, Karl
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL BASIC ELECTRIC ELEMENTS ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES FOR APPLYING LIQUIDS OR OTHER FLUENT MATERIALS TOSURFACES, IN GENERAL SEMICONDUCTOR DEVICES SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL TRANSPORTING
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