Antriebs-Baugruppe, Prozessieranordnung, Verfahren zum Montieren einer Antriebs-Baugruppe und Verfahren zum Demontieren einer Antriebs-Baugruppe

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Antriebs-Baugruppe (100) zum Antreiben einer rohrförmigen Elektrode (220) in einer Vakuumkammer (202) bereitgestellt, wobei die Antriebs-Baugruppe (100) aufweist: eine erste Lageranordnung (102), wobei die erste Lageranordnung eine Hülse (102h) und eine mittels eines ersten Lagers (102L) in der Hülse drehbar gelagerte Welle (102w) aufweist, wobei die Welle eine Kupplung (102k) aufweist zum Lagern und Antreiben einer rohrförmigen Elektrode in einer Vakuumkammer, ein an der Welle (102w) fixiertes erstes Zahnriemenrad (104a); eine zweite Lageranordnung (106), wobei die zweite Lageranordnung ein mittels eines zweiten Lagers (106L) drehbar gelagertes zweites Zahnriemenrad (104b) aufweist; ein Zahnriemen-Spannelement (108), wobei die Hülse und das zweite Lager an dem Zahnriemen-Spannelement derart abgestützt sind, dass das erste Zahnriemenrad und das zweite Zahnriemenrad mittels eines gespannten Zahnriemens gekuppelt werden können, wobei die Hülse an deren ersten Endabschnitt eine Flanschstruktur (102f) aufweist, wobei die Flanschstruktur derart eingerichtet ist, dass die Antriebs-Baugruppe an einem Endblock-Gehäuse und/oder an einer Vakuumkammer befestigt werden kann.