Endblock-Anordnung

Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung (100) Folgendes aufweisen: mindestens einen Endblock (102) zum Halten einer rohrförmigen Elektrode (104) in einer Vakuumkammer (106), wobei der Endblock (102) derart eingerichtet ist, dass eine an den Endblock (102) gekuppelte rohrfö...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: HEINRICH, HANS-JÜRGEN, STUDE, GERIT
Format: Patent
Sprache:ger
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