Endblock-Anordnung
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung (100) Folgendes aufweisen: mindestens einen Endblock (102) zum Halten einer rohrförmigen Elektrode (104) in einer Vakuumkammer (106), wobei der Endblock (102) derart eingerichtet ist, dass eine an den Endblock (102) gekuppelte rohrfö...
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Format: | Patent |
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Zusammenfassung: | Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Endblock-Anordnung (100) Folgendes aufweisen: mindestens einen Endblock (102) zum Halten einer rohrförmigen Elektrode (104) in einer Vakuumkammer (106), wobei der Endblock (102) derart eingerichtet ist, dass eine an den Endblock (102) gekuppelte rohrförmige Elektrode (104) um eine Rotationsachse (101a) drehbar gelagert ist; wobei der Endblock (102) eine Kühlmittelführung aufweist zum Versorgen einer an den Endblock gekuppelten rohrförmigen Elektrode (104) mit einem Kühlmittel; wobei die Kühlmittelführung mindestens einen sich quer oder in einem Winkel zur Rotationsachse (101a) erstreckenden Kühlmittelzuleitungsabschnitt (108) aufweist zum radialen Zuführen von Kühlmittel zu einer an den Endblock (102) gekuppelten rohrförmigen Elektrode (104), und wobei der Kühlmittelzuleitungsabschnitt (108) einen sich quer oder in einem Winkel zur Rotationsachse (101a) längserstreckenden Leitungsquerschnitt (108q) aufweist. |
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