Thermoakustischer Ultraschallwandler

Elektro-thermo-akustisches Wandlerelement (100, 101, 102 103), umfassend ein dielektrisches Substrat (10, 15) und einen stoffschlüssig auf dem Substrat angeordneten Dünnschichtaufbau, umfassend: eine elektrisch leitende Dünnschicht (20) mit zwei zueinander beabstandeten Kontakten (60), die elektrisch leitend mit der elektrisch leitenden Dünnschicht (20) verbunden sind, wobei die Dünnschicht zumindest ein erstes Metall umfasst, wobei die Kontakte (60) eine erste und eine zweite Elektrode (31, 32) umfassen, die zumindest abschnittsweise parallel zueinander angeordnet sind, und eine dritte Elektrode (50), die auf einer dem Schichtaufbau gegenüber liegenden Substratseite (12) angeordnet ist, sodass eine vom dielektrischen Substrat (10, 15) empfangene mechanische Schwingung mit Hilfe der dritten Elektrode (50) in ein elektrisches Signal umwandelbar ist und das elektro-thermo-akustische Wandlerelement (100, 101, 102, 103) als ein Ultraschallsender und als ein Ultraschallempfänger verwendbar ist, wobei die dritte Elektrode (50) ein zweites Metall und/oder ein kohlenstoffhaltiges Material und/oder ein Oxid, ausgewählt unter In2O:Sn und/oder SnO2:F und/oder ZnO:Al und/oder SnO2:Sb und/oder Indiumzinnoxid umfasst.