Gasmischvorrichtung an einem Reaktor mit Wegeventil

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Abscheiden insbesondere organischer Schichten auf einem Substrat und eine Vorrichtung zum Mischen von Gasen mit einer Mehrzahl von Zuleitungen (2 bis 5), welche in eine gemeinsame Sammelkammer (1) münden, und mit einer der Sammelkammer (1) entspringenden Ableitung (6) zum gemeinsamen Austritt der durch die Zuleitungen (2 bis 5) in die Sammelkammer (1) eingespeisten Gasflüsse. Um den Gaswechsel in einer Vorrichtung zum Abscheiden von OLEDs bei erhöhten Temperaturen zu verbessern, wird vorgeschlagen, dass eine Öffnung (7), mit der die Ableitung (6) mit der Sammelkammer (1) verbunden ist, durch einen Verschlussabschnitt (8'') durch eine Linearverlagerung oder eine Drehverlagerung verschließbar ist, wobei die Öffnung (7) offen ist, wenn eine Öffnung (9) einer Vent-Leitung (10) verschlossen ist. Es ist einziges Verschlussteil vorgesehen, dass von einem Stellantrieb zwischen einer Run-Stellung und einer Vent-Stellung hin und her schaltbar ist. This invention relates particularly to a device for depositing an organic layer on a substrate and a device for mixing gases, comprising: several input pipelines (2 to 5) communicated with a common collection chamber (1) and an output pipeline (6) originated from the collection chamber (1) for collectively exhausting gas flow sent into the collection chamber (1) by the input pipelines (2 to 5). In order to improve gas exchange of OLED deposition device at increased temperature condition, the following suggestions are provided: an opening (7) connecting the output pipeline (6) and the collection chamber (1) can be sealed by a sealing section (8'') through linear displacement or rotary displacement, wherein when the opening (9) of the ventilation pipeline (10) is sealed, the opening (7) is opened. A single sealing member is provided, which, under control by the operation mechanism, can be switched between an operation position and a ventilation position.