Schlitzventil und Vakuumbeschichtungsanlage

Schlitzventil einer Vakuumbeschichtungsanlage mit einer von Kammerwänden begrenzten Anlagenkammer, umfassend einen an einer Kammerwand anbringbaren Grundkörper (2) mit einer verschließbaren, schlitzförmigen Transferöffnung (21) zum Hindurchführen eines Substrats, dadurch gekennzeichnet, dass das Sch...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	Jaeger, Reinhard, Hentschel, Michael
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	ACTUATING-FLOATS BLASTING CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL COCKS DEVICES FOR VENTING OR AERATING DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVEFUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS HEATING INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL LIGHTING MECHANICAL ENGINEERING METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION TAPS THERMAL INSULATION IN GENERAL VALVES WEAPONS
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Schlitzventil einer Vakuumbeschichtungsanlage mit einer von Kammerwänden begrenzten Anlagenkammer, umfassend einen an einer Kammerwand anbringbaren Grundkörper (2) mit einer verschließbaren, schlitzförmigen Transferöffnung (21) zum Hindurchführen eines Substrats, dadurch gekennzeichnet, dass das Schlitzventil genau ein die Transferöffnung (21) begrenzendes schlauchförmiges Dichtelement (1) mit einem Hohlraum (11) aufweist, das zwei parallel zueinander verlaufende gerade Abschnitte (12) aufweist und dessen Innendruck einstellbar ist. The invention relates to a slot valve of a substrate treatment system having a system chamber limited by chamber walls, said slot valve comprising a main body (2) which can be attached to a chamber wall and has a closable, slot-shaped transfer opening (21) through which a substrate can pass, wherein the slot valve has a tubular sealing element (1) that limits said transfer opening (21) and has a hollow chamber (11) which has two straight portions (12) extending in parallel and the internal pressure of which is adjustable. The invention also relates to a substrate treatment system having such a slot valve.