Rückschlagventil und damit ausgestattete Vakuum-Arbeitsvorrichtung

Rückschlagventil, mit einer Trennwand (33), die in fluidischer Parallelschaltung von mehreren um einen Zentrumsbereich (53) der Trennwand (33) herum verteilt angeordneten Ventilkanälen (56) durchsetzt ist, die einerseits zu einer ersten Wandfläche (58) der Trennwand (33) ausmünden, der eine Absperrmembran (57) des Rückschlagventils (2) vorgeordnet ist, die in dem Zentrumsbereich (53) mit einem Befestigungsabschnitt (65) bezüglich der Trennwand (33) fixiert ist und die mehrere von dem Befestigungsabschnitt (65) wegragende und diesbezüglich sowie bezüglich der Trennwand (33) unabhängig voneinander verschwenkbare Absperrabschnitte (72) aufweist, die die Ventilkanäle (56) in einer an die Trennwand (33) herangeschwenkten Absperrstellung verschließen und in mindestens einer von der Trennwand (33) weggeschwenkten Offenstellung zur Ermöglichung des Hindurchströmens eines Fluides freigeben, wobei die an der ersten Wandfläche (58) der Trennwand (33) angeordneten Kanalmündungen (62) der Ventilkanäle (56) jeweils von einem eigenständigen Ventilsitz (63) umrahmt sind, wobei alle Ventilsitze (63) beabstandet zueinander angeordnet sind und jedem Ventilsitz (63) einer der unabhängig voneinander verschwenkbaren Absperrabschnitte (72) der Absperrmembran (57) individuell zugeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Absperrmembran (57) in ihrem Befestigungsabschnitt (65) eine Durchbrechung (66) aufweist, die mit einer die Trennwand (33) in dem Zentrumsbereich (53) durchsetzenden Durchtrittsöffnung (55) fluchtet, derart, dass ein die Trennwand (33) und die Absperrmembran (57) durchsetzender, ständig offener Durchgangskanal (89) vorliegt, durch den unabhängig von der momentanen Betriebsstellung der Absperrabschnitte (72) ein Fluid hindurchleitbar ist. The inventon provides a non-return valve (2) that has a partition wall (33) being penetrated through by a valve channels (56) distributed around a center area (53) in a fluid parallel connection manner, and the channel port (62) out of the first wall surface (58) of the partition wall (33) is enclosed by an independent valve seat (63). A stop film (57) is arranged before the first wall surface (58) of the partition wall (33), and has a fixed section (65) fixed at the center area (53) and a cut-off section (72) protruding from the fixed section (65) and swinging back and forth. One of the cut-off sections (72) is indenpendantly distributed for each valve seat (63). The invention further provides a vaccum work device equipped wi