Verfahren zum Optimieren eines simulierten optischen Systems

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Optimieren eines simulierten optischen Systems, das durch n Parameter xj mit den Werten xj Start beschrieben wird, wobei das Verfahren die folgenden Schritte aufweist: a) Ermitteln von m optischen Pfaden fi durch das simulierte optische System, b) Bestimmen eines Ist-Wertes OPLi Ist einer optischen Weglänge OPLi für jeden optischen Pfad fi, c) Bestimmen einer Gesamtabweichung d der Ist-Werte OPLi Ist von vorbestimmten Sollwerten UPLi Soll der optischen Weglängen OPLi und Vergleichen der Gesamtabweichung d mit einem vorbestimmten Maximalwert dmax, d) für den Fall, dass die Gesamtabweichung d größer ist als der vorbestimmte Grenzwert dmax - Auswählen von wenigstens einem Parameter xl, der variiert werden soll, - Bestimmen einer Jacobimatrix J mit den Matrixelementenund - Ermitteln einer Parameteränderung xl durch das Lösen des Gleichungssystemsfür alle i. e) Ersetzen der Werte xl Start der zu variierenden Parameter durch xl Start + xl und Wiederholen der Schritte a) bis e) bis die Gesamtabweichung d) kleiner als der vorbestimmte Maximalwert dmax ist.