Mikro-elektromechanische Anordnung und Verfahren zum Aufbau einer mikro-elektromechanischen Anordnung

Die vorliegende Erfindung schafft eine mikro-elektromechanische Anordnung und ein Verfahren zum Aufbau einer solchen mikro-elektromechanischen Anordnung. Hierzu werden ein mikro-elektromechanisches System und weitere elektrische Bauelemente auf gegenüberliegenden Seiten eines Interposers angeordnet....

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	SCHULER-WATKINS, SEBASTIAN, BAER, HANS-PETER, GRABMAIER, FLORIAN, REICHENBACH, RALF
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY PERFORMING OPERATIONS PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS TRANSPORTING
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