Mikrofonbauteil mit mindestens zwei MEMS-Mikrofonbauelementen

Es wird vorgeschlagen, ein Mikrofonbauteil (100), das ein erstes und ein zweites MEMS-Bauelement (10, 20) mit jeweils einer mikromechanischen Mikrofonstruktur umfasst, wobei jede Mikrofonstruktur zumindest aufweist: eine durch den Schalldruck auslenkbare Membran (12, 22), die mit mindestens einer Membranelektrode einer Kondensatoranordnung versehen ist, und ein feststehendes akustisch durchlässiges Gegenelement (13, 23), das als Träger für mindestens eine Gegenelektrode der Kondensatoranordnung fungiert; so aufzubauen, dass sich bei Schalleinwirkung der Abstand zwischen der Membran (12, 22) und dem Gegenelement (13, 23) der beiden Mikrofonstrukturen gegensinnig verändert. Dies ermöglicht eine einfache und effiziente Reduzierung des nichtlinearen Einflusses, den die Mikrofonstruktur auf die kapazitive Signalerfassung hat. A microphone assembly includes two MEMS components each having a micromechanical microphone structure, each microphone structure having: a diaphragm configured to be deflected by sound pressure and provided with at least one diaphragm electrode of a capacitor system; and a stationary acoustically permeable counter-element that acts as bearer for at least one counter-electrode of the capacitor system. The microphone assembly is configured such that under the action of sound the spacing between the diaphragm and the counter-element of the two microphone structures changes in opposite directions.