Sensorsystem mit zwei Inertialsensoren

Die Erfindung betrifft ein Sensorsystem mit wenigstens zwei mikromechanischen Inertialsensoren, die beweglich mit einem Substrat verbunden sind, wobei jeder Inertialsensor eine funktionale Schicht aufweist, wobei die funktionalen Schichten der zwei Inertialsensoren unterschiedlich dick sind, und wob...

Ausführliche Beschreibung

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	MEISEL, DANIEL CHRISTOPH, KATHMANN, THOMAS
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	GYROSCOPIC INSTRUMENTS INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT MEASURING MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS MEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION,OR SHOCK MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY NAVIGATION PERFORMING OPERATIONS PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY PHYSICS SURVEYING TESTING TRANSPORTING
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Die Erfindung betrifft ein Sensorsystem mit wenigstens zwei mikromechanischen Inertialsensoren, die beweglich mit einem Substrat verbunden sind, wobei jeder Inertialsensor eine funktionale Schicht aufweist, wobei die funktionalen Schichten der zwei Inertialsensoren unterschiedlich dick sind, und wobei die zwei Inertialsensoren nebeneinander auf dem Substrat angeordnet sind. A sensor system is described as including at least two micromechanical inertial sensors, which are movably connected to a substrate, each inertial sensor including a functional layer, the functional layers of the two inertial sensors varying in thickness, and the two inertial sensors being situated next to one another on the substrate.