Mikromechanisches Bauelement mit Elektrode und Gegenelektrode

Mikromechanisches Bauelement (1), das ein eine Haupterstreckungsebene aufweisendes Substrat, eine Elektrode (2) und eine relativ zum Substrat bewegliche seismische Masse (10) aufweist, wobei die seismische Masse (10) eine Gegenelektrode ist oder umfasst, wobei die Gegenelektrode eine Lochflächendichte größer 0% aufgrund von Ausnehmungen oder Löchern senkrecht zur Haupterstreckungsebene aufweist, wobei die Ausnehmungen oder Löcher eine maximale Lochdimension aufweisen, wobei die Elektrode (2) ortsfest gegenüber dem Substrat angeordnet ist, wobei die Elektrode (2) und die Gegenelektrode im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene des Substrats erstreckt sind, wobei die Elektrode (2) einen Elektrodenrand (5) umfasst und wobei eine Überdeckung des Elektrodenrandes (5) durch die Gegenelektrode entlang einer senkrecht zur Haupterstreckungsebene verlaufenden Richtung vorgesehen ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Elektrodenrand (5) und die Gegenelektrode derart ausgebildet sind, dass im Falle einer Auslenkung der seismischen Masse (10) entlang einer parallel zur Haupterstreckungsebene und senkrecht zum generellen Verlauf des Elektrodenrandes (5) verlaufenden Auslenkungsrichtung (C) die Überdeckung in einem Versatzbereich (15) der seismischen Masse (10) erfolgt und die Summe der Überdeckung des Elektrodenrandes (5) durch die Gegenelektrode betragsmäßig über den gesamten Verlauf des Elektrodenrandes (5) im Wesentlichen konstant bleibt, wobei die seismische Masse(10) Streben (11) und Querstreben (12) umfasst, wobei die Streben (10) senkrecht zum generellen Verlauf des Elektrodenrand (5) erstreckt sind und die Querstreben (12) sich parallel zum generellen Verlauf des Elektrodenrandes (5) von Strebe zu Strebe (11) erstrecken.