Magnetronanordnung und Target für eine Magnetronanordnung

Magnetronanordnung (300), aufweisend:* einen Targethalter zum Halten einer Vielzahl von Targetkacheln (302, 304), wobei der Targethalter mehrere Targetkachel-Auflageflächen aufweist, welche in einer Ebene liegen zum Auflegen der Vielzahl von Targetkacheln (302, 304);* die Vielzahl von Targetkacheln...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	Schneider, Klaus, Kaiser, Christoph, Wichtery, Mario
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	BASIC ELECTRIC ELEMENTS CHEMICAL SURFACE TREATMENT CHEMISTRY COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL COATING METALLIC MATERIAL DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS ELECTRICITY INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL METALLURGY SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION
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