Magnetronanordnung und Target für eine Magnetronanordnung

Magnetronanordnung (300), aufweisend:* einen Targethalter zum Halten einer Vielzahl von Targetkacheln (302, 304), wobei der Targethalter mehrere Targetkachel-Auflageflächen aufweist, welche in einer Ebene liegen zum Auflegen der Vielzahl von Targetkacheln (302, 304);* die Vielzahl von Targetkacheln (302, 304), wobei die Targetkacheln der Vielzahl von Targetkacheln (302, 304) derart nebeneinander angeordnet sind, dass mindestens eine Zwischentargetkachel (304) der Vielzahl von Targetkacheln zwischen mindestens zwei Randtargetkacheln (302) der Vielzahl von Targetkacheln angeordnet ist;* wobei jede der mindestens zwei Randtargetkacheln (302) drei Rand-Auflageflächen (2a, 2b, 2c) zum Auflegen der Randtargetkacheln (302) auf den mehreren Targetkachel-Auflageflächen des Targethalters aufweist, wobei die drei Rand-Auflageflächen (2a, 2b, 2c) von Aussparungen (314a, 314b, 314c) gebildet sind, und* wobei jede der mindestens zwei Randtargetkacheln (302) nur mit den drei Randflächen (2a, 2b, 2c) auf den mehreren Targetkachel-Auflageflächen des Targethalters aufliegt. Magnetron arrangement (300) comprises: a support; and at least one target (302) disposed on the support. The target with three boundary surfaces rests on the support. An independent claim is also included for a target for a Magnetron arrangement, comprising three edge supporting surfaces for placing the target on a support, where three edge support surfaces are formed by a number of recesses.