Dichtfläche, insbesondere für eine Vakuumkammer eines Massenspektrometers, und Verfahren zur Herstellung einer solchen Dichtfläche

Die Erfindung betrifft eine Dichtfläche (7, 7'), insbesondere für eine Vakuumkammer eines Massenspektrometers und eine Herstellung dazu. Im Stand der Technik werden ringförmige Dichtflächen mittels Drehen hergestellt. Fräsen ermöglicht zwar eine nicht-ringförmige Ausbildung, ist jedoch nachteilig bezüglich der Abdichtung. Die Aufgabe, eine Dichtfläche bereitzustellen, welche auch nicht-kreisförmige Formen annehmen kann und mit geringem Aufwand herzustellen ist, wird durch eine erfindungsgemäße Dichtfläche (7, 7') gelöst, welche umlaufende Riefen (11, 11') aufweist, die mittels Abtragen oder mittels Strahlspanen oder mittels Eindrücken hergestellt werden. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung einer solchen Dichtfläche (7, 7'), ein Bauteil mit einer solchen Dichtfläche (7, 7'), eine Vakuumkammer aus Bauteilen mit solchen Dichtflächen (7, 7') und einem Massenspektrometer mit einer solchen Vakuumkammer. A sealing surface, in particular for a vacuum chamber of a mass spectrometer and an associated manufacturing process, has non-circular shapes and can be produced with low effort. The sealing surface has circumferential cracks, being produced by erosion or jet machining or indentation-forming. A method manufactures such a sealing surface, a component has such a sealing surface, a vacuum chamber is made of components with such sealing surfaces and a mass spectrometer has such a vacuum chamber. In the prior art annular sealing surfaces are produced by turning. Milling permits a non-annular embodiment but is disadvantageous in case of sealing.