Ausrichtungsmarken und Halbleiter-Werkstück

Eine Ausrichtungsmarke (304) kann Folgendes aufweisen: ein längliches Muster (342), das einen ersten Endabschnitt (344) und einen zweiten Endabschnitt (346) aufweist und einen zentralen Abschnitt (348), der zwischen dem ersten Endabschnitt (344) und dem zweiten Endabschnitt (346) angeordnet ist, wob...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WOERZ, ANDREAS, STEINKIRCHNER, ERWIN
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR BASIC ELECTRIC ELEMENTS CINEMATOGRAPHY ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR ELECTRICITY ELECTROGRAPHY HOLOGRAPHY MATERIALS THEREFOR ORIGINALS THEREFOR PHOTOGRAPHY PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES PHYSICS SEMICONDUCTOR DEVICES
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Eine Ausrichtungsmarke (304) kann Folgendes aufweisen: ein längliches Muster (342), das einen ersten Endabschnitt (344) und einen zweiten Endabschnitt (346) aufweist und einen zentralen Abschnitt (348), der zwischen dem ersten Endabschnitt (344) und dem zweiten Endabschnitt (346) angeordnet ist, wobei der erste Endabschnitt (344) und/oder der zweite Endabschnitt (346) eine größere Breite als der zentrale Abschnitt (348) aufweist.