Verfahren zur Ermittlung einer probenspezifischen Größe einer piezoelektrischen Dünnschichtprobe
Verfahren zur Ermittlung einer probenspezifischen Größe einer auf einem elastischen Substrat (2) befindlichen und zwischen Elektroden (3, 5, 8) angeordneten piezoelektrischen Dünnschichtprobe (4) mit folgenden Schritten:a) Messen eines ersten Wertes für einen longitudinalen piezoelektrischen Koeffiz...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| Zusammenfassung: | Verfahren zur Ermittlung einer probenspezifischen Größe einer auf einem elastischen Substrat (2) befindlichen und zwischen Elektroden (3, 5, 8) angeordneten piezoelektrischen Dünnschichtprobe (4) mit folgenden Schritten:a) Messen eines ersten Wertes für einen longitudinalen piezoelektrischen Koeffizienten mit einer ersten Elektrodenmessanordnung,b) Messen mindestens eines zweiten Wertes für denselben longitudinalen piezoelektrischen Koeffizienten mit einer zweiten Elektrodenmessanordnung,c) Berechnen der probenspezifischen Größe mittels einer von den gemessenen Werten des longitudinalen piezoelektrischen Koeffizienten abhängigen Funktion. |
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