Verfahren zur Ermittlung einer probenspezifischen Größe einer piezoelektrischen Dünnschichtprobe
Es wird ein Verfahren zur Ermittlung einer probenspezifischen Größe einer auf einem elastischen Substrat (2) befindlichen und zwischen Elektroden (3, 4) angeordneten piezoelektrischen Dünnschichtprobe (4) vorgestellt, welches folgende Schritte umfasst: a) Messen eines ersten Wertes für einen longitu...
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| Format: | Patent |
| Sprache: | ger |
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| Zusammenfassung: | Es wird ein Verfahren zur Ermittlung einer probenspezifischen Größe einer auf einem elastischen Substrat (2) befindlichen und zwischen Elektroden (3, 4) angeordneten piezoelektrischen Dünnschichtprobe (4) vorgestellt, welches folgende Schritte umfasst: a) Messen eines ersten Wertes für einen longitudinalen piezoelektrischen Koeffizienten mit einer ersten Elektrodenmessanordnung, b) Messen mindestens eines zweiten Wertes für denselben longitudinalen piezoelektrischen Koeffizienten mit einer zweiten Elektrodenmessanordnung, c) Berechnen der probenspezifischen Größe mittels einer von den gemessenen Werten des longitudinalen piezoelektrischen Koeffizienten abhängigen Funktion. Bevorzugt wird auf diese Weise der transversale piezoelektrische Koeffizient ermittelt. |
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