Verfahren zum Detektieren von Elektronen, Elektronendetektor und Inspektionssystem

Ein Elektronen-Multi-Detektor umfasst eine Szintillator-Platte 207, eine Elektronenoptik 204, um eine Mehrzahl von Elektronenstrahlen 9 so auf die Szintillator-Platte zu richten, dass diese an mit Abstand p2 voneinander angeordneten Auftrefforten 213 auf die Szintillator-Platte treffen, einen Lichtdetektor 237, der eine Mehrzahl von mit Abstand voneinander angeordneten Lichtempfangsflächen 235 umfasst, und eine Lichtoptik 223, um in einem Bereich 243, in dem die Lichtempfangsflächen des Lichtdetektors angeordnet sind, ein erstes lichtoptisches Bild wenigstens eines Teils der Szintillator-Platte zu erzeugen, so dass durch die Abbildung einem jeden Auftreffort eine Lichtempfangsfläche zugeordnet ist; und wobei die Elektronenoptik einen Elektronenstrahlablenker 255 umfasst, um die Auftrefforte der Elektronenstrahlen auf der Szintillator-Platte in eine Richtung 247 orthogonal zu einer Normalen 249 bezüglich einer Oberfläche 208 der Szintillator-Platte zu verlagern. An electron-detector comprises a scintillator plate 207, electron optics 204 for directing a plurality of electron beams 9 onto the scintillator plate so that the electron beams are incident onto the scintillator plate at locations of incidence disposed at a distance from each other, a light detector 237 comprising a plurality of light receiving areas 235 disposed at a distance from each other, and light optics for generating a first light-optical image of at least a portion of the scintillator plate at a region 243 where the light receiving areas of the light detector are disposed so that, by the imaging, each of the locations of incidence is associated with a light receiving area; and wherein the electron optics comprise an electron beam deflector 255 for displacing the locations of incidence of the electron beams on the scintillator plate in a direction orthogonal to a normal 249 of a surface 208 of the scintillator plate.