Verfahren zur Verbesserung der Benetzbarkeit einer rotierenden Elektrode in einer Gasentladungslampe

Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Verbesserung der Benetzbarkeit einer rotierenden Elektrode mit einem flüssigen Medium in einer Gasentladungslampe, insbesondere zur Erzeugung von EUV-Strahlung oder weicher Röntgenstrahlung, sowie eine entsprechend ausgebildete Gasentladungslampe. Bei dem Verfahren wird die Randfläche der rotierenden Elektrode, auf die das flüssige Medium aufgebracht wird, durch äußere Bearbeitung mikrostrukturiert. Durch diese Mikrostrukturierung wird die Benetzbarkeit der Randfläche für das flüssige Medium deutlich verbessert. Weiterhin kann die Verteilung des flüssigen Mediums auf der Randfläche durch geeignete Wahl der Mikrostruktur gezielt beeinflusst werden. The method involves applying the liquid medium to an edge surface (9) of the rotating electrode wheel (1) in gas discharge lamp. A micro-structure (11) with cruciform, honeycombed, trapezoidal, pyramid-shaped, circular, annular, strip-like linear elevation or indentations is formed in the edge surface of the rotating electrode wheel by external processing with laser radiation. An independent claim is included for an apparatus for generating extreme UV radiation or soft X-ray.