Trocknen von Polysilicium

Anlage zum Reinigen und Trocknen von Stäben oder Stabstücken aus polykristallinem Silicium, umfassend wenigstens zwei miteinander kommunizierend verbundene Spülbehälter zum Spülen der Stäbe oder Stabstücke, in denen sich ein Aufnahmebehälter für Stäbe oder Stabstücke befindet, die als Spülkaskade ge...

Ausführliche Beschreibung

Bibliographische Detailangaben

Hauptverfasser:	WOCHNER, HANNS, NIEDERMEIER, ROLAND
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMISTRY COMPOUNDS THEREOF INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS
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