Trocknen von Polysilicium

Anlage zum Reinigen und Trocknen von Stäben oder Stabstücken aus polykristallinem Silicium, umfassend wenigstens zwei miteinander kommunizierend verbundene Spülbehälter zum Spülen der Stäbe oder Stabstücke, in denen sich ein Aufnahmebehälter für Stäbe oder Stabstücke befindet, die als Spülkaskade ge...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser:	WOCHNER, HANNS, NIEDERMEIER, ROLAND
Format:	Patent
Sprache:	ger
Schlagworte:	CHEMISTRY COMPOUNDS THEREOF INORGANIC CHEMISTRY METALLURGY NON-METALLIC ELEMENTS
Online-Zugang:	Volltext bestellen
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Zusammenfassung:	Anlage zum Reinigen und Trocknen von Stäben oder Stabstücken aus polykristallinem Silicium, umfassend wenigstens zwei miteinander kommunizierend verbundene Spülbehälter zum Spülen der Stäbe oder Stabstücke, in denen sich ein Aufnahmebehälter für Stäbe oder Stabstücke befindet, die als Spülkaskade geschaltet sind, wobei der Aufnahmebehälter wenigstens zwei Auflagestege beinhaltet, auf denen die Stäbe oder Stabstücke aufgelegt werden können, und einen dritten Behälter zum Trocknen der Stäbe oder Stabstücke, der ebenfalls wenigstens zwei Auflagestege umfasst, wobei die wenigstens zwei Auflagestege jenes dritten Behälters gegenüber den wenigstens zwei Auflagestegen des Aufnahmebehälters versetzt angeordnet sind.