System, useful for cleaning and drying polycrystalline silicon rods or rod pieces, comprises two washing containers for rinsing rods or rod pieces, and third container for drying rods or rod pieces, where containers comprise receptacle

The system comprises two mutually connected washing containers for rinsing rods or rod pieces (3) made of polycrystalline silicon, and a third container for drying the rods or rod pieces. The washing containers comprise a receptacle for rods or rod pieces, and are switched as rinsing cascade. The re...

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Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: WOCHNER, HANNS, NIEDERMEIER, ROLAND
Format: Patent
Sprache:eng ; ger
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Beschreibung
Zusammenfassung:The system comprises two mutually connected washing containers for rinsing rods or rod pieces (3) made of polycrystalline silicon, and a third container for drying the rods or rod pieces. The washing containers comprise a receptacle for rods or rod pieces, and are switched as rinsing cascade. The receptacle includes two supporting bars (41, 42) on which the rods or rod pieces are placed. The third container comprises two supporting bars that are arranged offset relative to the supporting bars of the receptacle. Independent claims are included for: (1) a method for cleaning and drying rods or rod pieces made of polycrystalline silicon; (2) a method for preparing fragments of polycrystalline silicon; and (3) a method for processing polycrystalline silicon fragments. Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zum Reinigen und Trocknen eines Stabes oder eines Stabstücks aus polykristallinem Silicium, das wenigstens einen Spülschritt und wenigstens zwei Trocknungsschritte umfasst, wobei im wenigstens einen Spülschritt ein Stab oder ein Stabstück mit Wasser einer Temperatur von 35-100°C in einem geschlossenen Spülbehälter gespült wird, sich der Stab oder das Stabstück in einem Aufnahmebehälter befindet, wobei im anschließenden ersten Trocknungsschritt das Spülwasser aus dem Spülbehälter entfernt, der Spülbehälter geöffnet, der Aufnahmebehälter aus dem Spülbehälter entnommen wird und der Stab oder das Stabstück für 1 bis 60 Minuten im geöffneten Aufnahmebehälter verbleiben, wobei nachfolgend der Stab oder das Stabstück aus dem Aufnahmebehälter entnommen und im zweiten Trocknungsschritt der Stab oder das Stabstück in einen Trocknungsbehälter eingelegt wird, wobei Spülbehälter und Trocknungsbehälter Auflagestege umfassen, auf denen Stab oder Stabstück aufliegt, wobei die Auflagestege des Trocknungsbehälters gegenüber den Auflagestegen des Aufnahmebehälters versetzt angeordnet sind.