Sensor und Verfahren zum Bestimmen einer Temperatur

Die Erfindung betrifft einen Sensor (10) zum Bestimmen einer Temperatur, mit einer ersten Isolierschicht (12) aus einem ersten Dielektrikum, welche zwischen einer ersten (14) und einer zweiten Leitschicht (16) aus einem leitfähigen Material angeordnet ist, sowie mit einer zweiten Isolierschicht (18)...

Ausführliche Beschreibung

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
Hauptverfasser: MATZ, RICHARD, GOETSCH, DIETER, MAENNER, RUTH
Format: Patent
Sprache:ger
Schlagworte:
Online-Zugang:Volltext bestellen
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Die Erfindung betrifft einen Sensor (10) zum Bestimmen einer Temperatur, mit einer ersten Isolierschicht (12) aus einem ersten Dielektrikum, welche zwischen einer ersten (14) und einer zweiten Leitschicht (16) aus einem leitfähigen Material angeordnet ist, sowie mit einer zweiten Isolierschicht (18) aus einem zweiten Dielektrikum, welche zwischen der zweiten (16) und einer dritten Leitschicht (20) aus einem leitfähigen Material angeordnet ist, wobei das erste und das zweite Dielektrikum eine unterschiedliche Temperaturabhängigkeit ihrer jeweiligen Permittivität aufweisen. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Bestimmen einer Temperatur mittels eines solchen Sensors (10). A sensor for determining a temperature is provided, having a first insulating layer made of a first dielectric, which layer is arranged between a first and a second conductive layer made of a conductive material, and having a second insulating layer made of a second dielectric, which layer is arranged between the second and a third conductive layer made of a conductive material, wherein the first and the second dielectric have a different temperature dependency of the respective permittivity thereof. A method for determining a temperature by such a sensor is also provided.